人与技术相融合的SEMES

: LOZIX high 是半导体制造工序中搭载Lithography Immersion工艺的特殊机能，能确保最佳工艺性能的21世纪主力All in one Platform构造的Track
: ■ 提高的生产效率及便利性
: 最佳的 Wafer Path 及 Robot 负载分散处理，确保每小时220枚以上生产量。
  : 通过新概念Module设计，实现设备尺寸紧凑化。

■ 稳定的工艺环境管理
: 实现全领域环境控制，确保最佳的工艺性能及可信赖性。
  : 搭载特殊的Multi Zone Hot Plate，根据Process特性可调超微小温度Offset 。
  : 用Recipe管理功能，通过控制Wafer各方位打力，改善微小Pattern的洗净力。

■ RAMs for CoO (Reliability Availability Maintainability for Cost of Ownership)
: 通过新概念设计，达到最佳的设备效率。
  : 通过SDS(SEMES DISPENSE SYSTEM)， PR及控制其他Chemical精确吐出来CoO最大化。
  : Bake Chamber的高容量排气及通过改善气流提高MTBP。

■ Immersion工艺特殊技术
: 搭载特殊的Back Side Cleaning Unit，实现Wafer Back Side的微小颗粒去除效果及CD Uniformity最大化。