Photo Full Line
- Photo Full Line是 TFT-LCD 工序中，具有负责干燥、涂布、显影的设备。具有出众的干燥性能、面板传送能力，以及很好的涂布均匀度。
- ■ 提高的干燥能力
: 通过气流 simulation，可实现气刀的最佳化。
■ 出众的温度均一度
: 采用了16分割加热板，实现了温度均一度。
: 顶部滑板盖及复层结构，设备体积最佳化。
■ 提高的面板传送系统
: 采用5˚ 倾斜搬送及超轻量搬送轴，提高传送能力。
: 非接触磁力传送系统，防止 Fume 和 Particle的发生。
产品介绍
